《表4 不同物料质量条件升温速率拟合函数》

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《多晶硅在微波场中动态升温特性研究》

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在900℃以下，不同质量的多晶硅颗粒在相同微波功率条件下的升温曲线斜率变化很小，但是当温度超过900℃后，质量越小，升温速度加快越明显，这个结果从升温曲线斜率上也可以明显得到。不同物料质量条件下，物料的温升速率的多项式拟合函数如表4所示。