《表5 不同物料粒度条件升温速率拟合函数》

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《多晶硅在微波场中动态升温特性研究》

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可见，多晶硅的粒度大小对其在微波场中的吸波性能有一定的影响，但是在粒度变化不是很明显的前提下，它对加热过程速率变化影响不大，特别是在物料升温过程的中低温阶段。在1 000℃以上，粒度小的物料升温速率发生微小变化，表观升温速率增加，这是因为物料粒度越小，导致颗粒填充层的空隙率就越小，介电损耗也就越大，所以升温速率也就越快。不同物料粒度条件下，物料的升温速率经多项式拟合函数如表5所示。