《表2 纯水和过氧化氢的回收率测试》

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《集成电路工艺用过氧化氢中杂质元素的检测方法》

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电子级过氧化氢和纯水具有相同的元素，在ICPMS测试系统里具有“相同”的基体。但是，采用测试纯水的方法（直接进样-标准曲线法）测试过氧化氢会造成检测结果偏低。如表2所示。