《表4 各浓度点对应的响应值》

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《集成电路工艺用过氧化氢中杂质元素的检测方法》

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在相同的测试条件下，分别测试标准曲线的五个浓度点和标准加入法的五个浓度点，响应值如表4所示，1代表标准曲线法，2代表标准加入法。虽然两种标准曲线的线性相关系数都可以≥0.999，但是标准加入法各浓度点的响应值明显小于标准曲线法的响应值，浓度越高响应值的差距越大。这一现象表明过氧化氢存在基体抑制效应，而且随着浓度的增加，基体抑制效应越明显。所以电子级过氧化氢中杂质的检测在基体没有被消除的情况下不能采用标准曲线法，只能使用标准加入法。实验证明，采用标准加入法时，过氧化氢稀释倍数为10时即可实现较好的回收率。