《表1 束流精度测量实验数据》

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《基于STM32离子注入机剂量检测控制器的设计》

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该剂量检测控制器成功研制出了样机，并对样机的束流采集精度、温度漂移范围、继电器换档切换时间等主要性能指标进行了测试。控制器实现了大范围束流的快速量程切换，量程切换时间达到1 ms；束流测量精度小于0.4%，最小量程低至2μA；测量漂移精度小于0.3%。用自校准电流源模拟注入晶片的离子束流，束流精度和温度漂移测试结果分别如表1、表2。