《表1 NIM＿GaAs2017 Multi-TRL传输线尺寸汇总》

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《110 GHz可溯源的On-wafer GaAs基Multi-TRL校准标准件研制》

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NIM＿GaAs2017共面波导阻抗标准尺寸和形状参考了NIST文献[5]提出的设计以及Cascade商用校准片的设计尺寸，并通过仿真计算验证了此设计的传输线特性阻抗为50Ω。共面波导阻抗校准标准件由5根传输线和5对Short、Open反射件组成。其中，衬底砷化镓厚度为350μm。标准传输线信号线宽度W、地线宽度Wg、槽线宽度G，尺寸汇总如表1。此外NIM＿GaAs2017还加入4组参考检验传输线，对信号线宽度和槽线宽度进行5μm的调整，见表1。Multi-TRL校准模块版图设计见图1。