《表2 不同布线间距的单端RDL传输线尺寸》

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《玻璃基RDL传输线的特征阻抗与损耗研究》

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首先研究布线间距变化的影响。间距的变化范围如表2和表3所示。此时其他尺寸（如信号线宽度、参考地宽度、粗糙度）为定值，且差分对内间距固定为125μm（下文不再另作说明）。TDR实测与仿真的结果如图7和表4所示。结果显示，随着间距的增加，RDL布线特征阻抗增大。单端布线间距为42μm时，特征阻抗接近50Ω；而差分布线间距为85μm时，特征阻抗接近100Ω。我们注意到TDR曲线的头尾处波形震荡较严重，这是因为在RDL布线的头尾处是一圆形Pad，它与RDL布线主干上的阻抗不一致，引起了信号反射。因此，应该读取TDR曲线中心附近的值，该处波形稳定，能准确反映RDL布线的实际特征阻抗值。利用公式（2）进行分析，间距拉大，CL减小，LL增加，因此Z0增大。