《表1 各试件的EDS结果》

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《氧化时间对TC11钛合金表面微弧氧化膜的耐烧蚀性能影响》

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图1为微弧氧化膜的表面形貌及其截面SEM图。从图中可以看出，随着氧化时间的提高，膜层孔洞越大。其中试件1表面最平整，但是孔隙最多，因而表面积最大。试件1—4的显微硬度分别为738.8HV、815.0HV、828.9HV、375HV，其中试件1—3的平均厚度分别为3.084μm、8.79μm和15.13μm。由此可见，微弧氧化膜的硬度相对于基体TC11钛合金均有提高，且氧化时间越长厚度越大。微弧氧化膜主要是以基体自身形成的氧化物为主，膜层中氧元素的含量明显比基体中氧元素的含量高。由于电解液中含有Al、Si等元素，因此形成的微弧氧化膜中有一部分Al、Si等元素来自电解液，故表1中各试件中Al、Si等元素含量明显高于在TC11基体中的含量。膜层中含有的少量杂质元素是通过放电通道进入膜层的。