《表2 氯硅烷不同条件下硅粉观测情况》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《多晶硅还原反应异常沉积研究》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

在多晶硅沉积的过程中，若反应过程中的工艺参数控制出现偏差，可能会在整个还原炉体气相氛围内发生成核反应，表现为还原炉内充满黑色粉末状的硅粉，俗称还原炉雾化（见图3）。根据文献实验资料记载，当达到表2情况时，则可观测到硅粉形成。