《表3 不同模式下硅、钙、铁的噪声背景》

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《微波消解-电感耦合等离子体质谱法测定氧化铟锡靶材中13种痕量杂质元素》

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质谱分析中通常依据丰度高且无干扰的原则来选择被测元素同位素，因此选定24 Mg、27 Al、52Cr、58 Ni、63Cu、64Zn、90 Zr、208 Pb、205 Tl、28Si、40 Ca、56 Fe为测定同位素。由于氧化铟锡靶材中存在大量的铟和锡基体，导致112Cd、114Cd、116Cd受到锡基体干扰，113Cd受到铟基体干扰，因此实验选择丰度为12.80%的111Cd进行定量分析。ICP-MS测定时通常采用氩气模式，但28Si、40Ca、56Fe在氩气模式下受到14 N14 N、40 Ar及40 Ar16 O等双电荷的影响，导致其每秒计数（CPS）的背景噪声远高于氢气模式，具体见表3。因此实验选择氢气碰撞反应池下测定28Si、40Ca、56Fe。