《表3 实验数据记录表(频率Hz)》

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《铌酸锂声表面波气体传感器及其谐振频率的研究》

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通过改变叉指电极的材料，我们得到如表3第4-6行所示的数据，可以发现Au、Pt电极SAW气体传感器的谐振频率已严重偏移基底谐振频率，这会使测量产生严重误差，且中心频率越高，制成的传感器灵敏度就越高，所以，从各个角度考虑，Al是该SAW气体传感器叉指电极的最佳材料。