《表2 不同气体浓度实验数据记录表(频率Hz)》

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《铌酸锂声表面波气体传感器及其谐振频率的研究》

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压电基底谐振频率测量完成，在基底表面淀积好气敏薄膜以及叉指电极开始试验测量。待测气体浓度为零时测量结果如图5所示，设置待测气体浓度分别为0 ppm、100 ppm、200 ppm以及250 ppm，测量结果见表2，图6为气体浓度100 ppm模态波形图。可以看出，吸附气体前后SAW传感器谐振频率发生约223.6 Hz以上的偏移量，SAW传感器在谐振频率高达855 MHz的情况下，可以监测出223.6 Hz以上的频率偏移量，测量精度高达2.6×10-7。