《表2 验证点计算值及实验值》

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《基于ICP的磁流变抛光方形工件精准定位方法》

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在机床坐标系下，测量对应于所有（x'i，y'i）处，工件表面的Z向实际位置Z″，对比其与理论计算值的偏差。表2所示为验证点的计算值及实测值，Z向定位误差的计算值与实测值的偏差最大为9.0μm。