《表1 电解加工内壁微坑阵列工艺参数》

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《电射流掩膜加工内壁微结构的仿真与实验研究》

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该装置由三轴运动平台、电解液循环系统、平台控制系统及脉冲电源组成。采用厚度为0.2 mm的环氧树脂薄片作为绝缘柔性掩模板，其余具体的工艺参数如表1所示。改变球状阴极喷嘴的缝宽进行电解加工实验，观察、分析实验结果并验证加工方法及仿真结果的可行性与正确性。试样及电解加工过程如图5所示。