《表2 钨针电解加工参数》

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《一种用于平板型FAIMS的电晕放电离化源》


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利用主轴旋转可以避免气泡附着,使表面更均匀,并且钨丝尖端电场集中,在外加电场的作用下,尖端溶解速度相比其他部位要快,因此钨丝形状有逐渐趋于“尖锥”状。电解形成的钨针的尖端可达微米级,当主轴速度过高时,针尖易弯曲,因此将转速设定为400 rad/min,详细电解工作参数如表2所示。