《表1 SF6气体中附着、离解、电离等过程》

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《直流GIL绝缘子表面电荷研究现状与展望》

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GIL以SF6气体作为绝缘介质，由于电子与SF6气体分子碰撞时的能量不同会分别出现附着、离解、离解附着、碰撞电离等过程，使得SF6气体中分解粒子种类较多。SF6气体中发生附着、离解、离解附着、碰撞电离等过程所需要的能量以及反应式如表1所示。