《表1 不同混合气体与SF6为背景气时SF6分解产物的关系常数》

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《不同背景气体对SF_6分解产物检测结果影响的研究》


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不同混合气体与SF6为背景气时SF6分解产物的关系常数见表1,由表1可见,同一混合气为背景气条件下,SF6分解产物的检测结果比纯SF6为背景气时的检测结果的偏小倍数相同;混气组份不同,SF6分解产物的检测结果也不相同,不同组分的混合气体中SF6分解产物的检测结果为:SF6>SF6/CF4>SF6/N2。