《表1 无关联热耦合的能耗》

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《一种用于多晶硅的无关联塔差压热耦合技术》

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本方案是粗馏塔先脱重后脱轻，通过脱重塔塔顶尾气排出不凝气，减少对后续塔影响，同时脱重塔除去原料中78%的四氯化硅，降低脱轻塔负荷，并保证脱轻塔的物料中是90wt%以上的三氯氢硅；通过调整回流进料比和塔压，将粗馏塔脱轻塔与回收塔脱轻塔采用无关联塔差压热耦合，能耗见表1，与无耦合相比，冷却和加热负荷分分别节能52%和48%，节能效果显著。