《表1:某超硅半导体洁净厂房微震控制技术》

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《某超硅半导体洁净厂房微震控制技术》


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而机电马达等设备的隔震器以弹簧隔振器为主,因此建议弹簧隔振器在负载下的静挠度不得小于25mm。