《表1 不同温度热处理后BSI-CMOS图像传感器信噪比》

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《热处理对背照式CMOS传感器信噪比影响的实验研究》

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BSI-CMOS图像传感器中的噪声分为随机噪声和模式噪声[5]，随机噪声是指电压或者电流的统计分布，是与时间有关的噪声，模式噪声是空间分布的噪声，对所有帧的影响都是相同的。模式噪声又分为固定模式噪声和光响应非均匀性[6]，光响应非均匀性数量级较低，对图像质量影响较小，因此信噪比的计算过程中忽略光响应非均匀性对噪声的影响。在?1的计算中，（Sij-S） 是p帧图像在（i，j）点处的灰度平均值减去总的灰度平均值，体现的是BSI-CMOS图像传感器空间域的噪声特性，即固定模式噪声。在?1的计算中，?ij是p帧图像上（i，j）点处灰度值的标准偏差，体现的是BSI-CMOS图像传感器时间域的噪声特性，信噪比SNR则体现了BSI-CMOS图像传感器的空间域噪声特性和时间域噪声特性[7]。按照以上方法对未经热处理和不同温度热处理后的BSI-CMOS图像传感器的信噪比进行测试，参加测试的BSI-CMOS图像传感器的信噪比如表1所示。