《表1 不同测试载荷及测试方法显微维氏硬度平均值及标准方差》

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《空间滑动电接触Au镀层硬度测试方法研究》

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图3为盘片Au镀层在不同测试载荷及测试方法下的显微维氏硬度值比较，可以看出不同测试方法和测试载荷对Au镀层的显微硬度有着明显的影响，2 gf载荷表面法检测获得最高显微硬度HV211.7，25 gf表面法检测获得最低显微硬度HV172.3。表1为不同测试载荷及测试方法的显微维氏硬度平均值及标准方差，可以看出随着载荷的增加，Au镀层的平均硬度值由2 gf载荷的HV204.6降低到25 gf载荷的HV177.3，试验结果符合显微硬度值随测试负载的减小而增大的一般规律[4]。在相同的小载荷下（2，5 gf），采用表面法和截面法测得的Au镀层显微硬度值基本一致，偏差不超过5%，但是从实用性和可操作性角度考虑，表面法检测优势明显。