《表1 均匀性误差的设计结果和实验结果》

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《高衍射效率连续面形分束器的设计与制备》

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对设计结果和实验结果的均匀性误差、衍射效率进行对比，见表1和表2.可以看出加工出的分束器与理论设计的分束器性能还存在一些差距，最主要的原因是，实验加工出的面形与理论面形还存在一定的误差，面形误差会导致分束器的性能下降[19].下一步将采用减小曝光间隙来改进该连续面形分束器的制备加工.