《表3 不同加速电压下的rmin与zmin计算值》
注:h为阳极到静电聚焦点的距离。
式中,Qf为枪室气体流量,Pa·L/S;Qg为隔离导管的气流量,Pa·L/S;Pi为当前真空度,Pa;Sp为泵的抽速,L/S。当电子枪真空度Qf(除隔离导管)为0.5Pa·L/S,焊接室真空度也为5Pa时打开隔离阀后的∑Q的最大值为2.23 Pa·L/S。此时将∑Q除以泵的抽速Sp得到当前真空度Pi为2.2×10-2 Pa,优于5.0×10-2Pa,也满足了隔离枪室阴极工作的要求。
图表编号 | XD0062278700 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2019.05.01 |
作者 | 朱国坤、张向东、张建飞、莫力林 |
绘制单位 | 桂林狮达技术股份有限公司、桂林狮达技术股份有限公司、桂林狮达技术股份有限公司、桂林狮达技术股份有限公司 |
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