《表1 重复性误差测量结果》

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《通过傅里叶变换测量多表面面形》


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在本实验中,在不同时间内多次测量透明平行板的PV值,将此结果作为重复性误差分析的数据,表1是在3个不同的时间测量同一块平行板得到的平行板前后表面的PV值。由表1可以看出,前表面PV值的重复性为0.7%,RMS值的重复性为0.2%,后表面PV值的重复性为0.8%,RMS值的重复性为0.3%。与单幅条纹空域傅里叶法中的重复性进行对比[13],其前表面PV的重复性为1.05%,其后表面为0.69%,RMS值重复性分别为0.05%与0.13%,数据与本文大致持平。