《表1 重复贴合实验数据：高精瞄具重复装卡误差测量》

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《高精瞄具重复装卡误差测量》

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为评价微动对准装置的测量精度，首先进行重复性贴合实验。保证瞄具始终处于同一位置（避免因瞄具本身位置的变动而在贴合端引入误差），驱动电机使微动对准贴合模块前后移动，配合微力传感器调整PZT进行重复贴合，每隔10min进行一次，共计进行10次实验（Ix:自准直仪水平方向的读数；Iy:自准直仪垂直方向的读数）。由表1中的实验数据可知，微动对准模块在水平和竖直方向重复贴合的标准偏差均小于1″。