《表2 四氯化硅中的硅粉含量对运行时间的影响Tab.2 The effect of silicon powder content in silicon tetrachloride on operati
实验二:在分布板孔径为12.5mm,分布板压差控制为60 kPa(压差超过60 kPa时则要停车),四氯化硅中硅粉含量对运行时间的影响,结果见表2。
图表编号 | XD0060831000 严禁用于非法目的 |
---|---|
绘制时间 | 2019.02.25 |
作者 | 马启坤、袁庆波、谭宗国、张建平 |
绘制单位 | 昆明冶金研究院、云南省选冶新技术重点实验室、昆明冶金研究院、云南冶金云芯硅材股份有限公司、云南省光电子硅材料制备技术企业重点实验室、云南冶金云芯硅材股份有限公司、云南省光电子硅材料制备技术企业重点实验室 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |
查看“表2 四氯化硅中的硅粉含量对运行时间的影响Tab.2 The effect of silicon powder content in silicon tetrachloride on operation time”的人还看了
- 表1 生长温度对硅外延片表面质量的影响Tab.1 Effect of the growth temperature on the surface quality of the silicon epitaxial wafer