《表1 LED芯片项目产污环节分析一览表》

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《LED芯片项目环境影响评价编制要点》

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LED芯片项目产生的污染物主要为外延片生产及芯片生产过程中产生的外延废气（氨气和含氮粉尘）、酸性废气、有机废气和特殊废气（硅烷、一氧化二氮、四氟化碳、六氟化硫）等；清洗工序产生的酸洗废水、有机废水、研磨工序产生的研磨废水、超纯水制备浓水和反冲洗水、碱液喷淋塔饱和废水、员工生活污水等；不合格品、废包装物、废活性炭、废显影液、废有机溶剂、废包装桶、除尘设备收集的粉尘、污水站污泥和生活垃圾等固体废物。常见的LED芯片项目产污环节分析详见表1。