《表1 镀膜后样品的腐蚀抑制效率》

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《阳极氧化钽酸锂薄膜在NaOH溶液中的腐蚀行为研究》

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将Ta基体（S0）和镀膜后（S1-S3）样品置于50℃的10wt%NaOH溶液中浸泡96h，考察它们的耐碱腐蚀性能（图5）。实验期间各试样的质量损失情况如图5a所示，根据公式（1）计算质量腐蚀速率Vcorr（图5b）。结果显示，Ta基体（S0）浸泡后总的质量损失最大（高达23 mg），所有阳极氧化镀膜后的样品（S1-S3）质量损失都很小（1～4 mg）。计算得出的Ta基体质量腐蚀速率为47×10-6g·cm2·h-1，镀膜后样品的腐蚀速率均小于8×10-6g·cm2·h-1，其中样品S2和S3的腐蚀速率最小。参考图3所示的SEM照片，样品S1的表面形貌看起来比S3的更加致密，理论上讲应该是比样品S3更能抵抗腐蚀溶液的侵蚀，但浸泡后其腐蚀速率却比后者大，这点看起来似乎不合常理。结合图2的XRD谱，反应时间较短时（如S1）薄膜成分主要是氧化钽，此时钽酸锂含量非常少；随时间延长，尽管氧化钽的含量变化不大，但钽酸锂成分的含量却显著增多（尤其是S3）。我们推测，相对于氧化钽而言，钽酸锂或许能够更有效地阻碍腐蚀性离子基团在其表面吸附，从而提高了基材的抗腐蚀能力，即样品的耐腐蚀性能与钽酸锂含量息息相关。因此上述S1-S3样品中，钽酸锂含量最多的S3其腐蚀速率最小，含量最少的S1腐蚀速率最大。此外，根据公式（2）计算了样品的腐蚀抑制效率IEcorr（列于表1中）。表1数据显示，镀膜后样品的腐蚀抑制效率都在83%以上，S2和S3的抑制效果高达96%。这些结果表明，阳极氧化制备的LiTaO3复合薄膜确实能够很好地抑制NaOH溶液的侵蚀，从而提高Ta基体的耐碱腐蚀性能。