《表1：压力传感器漏率记录表》

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《压电式压力传感器的氦质谱压力真空检漏方法》

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当前，应用于压力传感器检漏的方法主要是吸枪法，精度与压力真空法相比相对较低。本文在分析氦质谱压力真空检漏方法的基础上设计了适用于CY-YD-203型压电式压力传感器的真空室和检漏工装，经试验验证，满足检漏要求。