《表2 图5不同点处的EDS测得的元素组成 (原子分数, %) Tab.2 Elemental composition measured by EDS at different points in F

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《包埋工艺对钼表面Si-B-Y复合涂层氧化行为的影响》

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从图5中不同点处的EDS数据见表2，共渗涂层中氧原子含量高于两步包埋涂层，这也说明两步包埋法制备的涂层能更好阻挡氧原子向基体内部的扩散。结合EDS数据及图6的X射线衍射图谱，分析得到该涂层中各层的物相如图5所示，两种包埋工艺制备的Si-B-Y复合涂层氧化后的涂层结构及各层物相基本一致，这说明包埋工艺对氧化扩散过程无显著影响。