《表3 靶材表面不同位置的硬度值》

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《X射线阳极靶材工作表面的缺陷分析》

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将靶材工作表面含有白斑缺陷的样品进行显微硬度测试，结果如表3和图3。编号1-3为白斑缺陷周围的硬度测试点，编号4-7为沿白斑缺陷向外延伸的硬度测试点。根据显微硬度测试结果可知，白斑缺陷周围的硬度值偏低，随着测试点向外延伸，其硬度增加，最终硬度相对稳定，说明该区域致密度均匀。硬度值是由晶粒度决定的，晶粒越细，晶界面越多，晶界越曲折；晶粒与晶粒中间犬牙交错的机会就越多，越不利于裂纹的传播和发展，彼此就越紧固，强度和韧性就越好，硬度也就越高。