《表1 7 GDMS法分析高纯硅的工作参数》

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《辉光放电质谱法在高纯材料分析中的应用》

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张金娥[38]等人用GDMS法测定了太阳能级多晶硅中B、P、Fe、Co等痕量杂质元素，测定结果的相对标准偏差RSD都小于30%，并用ICP-MS法进行验证，表明了在无标样的情况下，GDMS给出了半定量分析结果（表15）。