《表2 不同隧穿钝化层电池电参数》

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《21.5%以上效率Panda-TOPCon双面电池技术研究》

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上面的实验中掺杂性能对FF影响并不大，因此工作重点放在隧穿上，因此从SiO2的成膜性质和膜厚进行研究，在经过大量研究优化后，取得了一定成果，通过调整工艺参数，针对不同的SiO2层分别进行polySi厚度的优化，经优化后，分别针对2种SiO2层最佳搭配进行最终的对比，其中湿化学法（NAOS）方式形成的SiO2对应的polySi厚度为200 nm，热氧氧化（Th.Ox）对应polySi厚度为100 nm，表2给出2种不同隧穿钝化层制备电池的的电性能参数。