《表1 标定板4μm条纹重复性测量结果Tab.1 Repeatability measurements for 4μm stripe on the calibration board》
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将光学系统沿x方向来回移动，记录每次经过4μm条纹处的信号，对多次测量的结果进行处理后获得重复性数据，见表1。重复性实验的结果显示，4μm宽、63 nm高的条纹的剪切干涉信噪比为8:1。可以得出，该光路系统具有良好的稳定性，可实现微米级别的缺陷检测。
| 图表编号 | XD004142300 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2018.10.20 |
| 作者 | 钱佳立、陆惠宗、袁巨龙、吕冰海、陈士豪 |
| 绘制单位 | 浙江工业大学超精密加工研究中心、浙江工业大学超精密加工研究中心、浙江工业大学超精密加工研究中心、浙江工业大学超精密加工研究中心、浙江工业大学超精密加工研究中心 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
