《表2 反复充放电测量实验结果》

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《激光陀螺稳频器压电陶瓷片微位移自动化测量》

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取5片压电陶瓷片，分别加载100 V电压持续2 s，然后加载0 V电压持续2 s，重复16次，每次均记录其位移量。其中，驱动电源采用专用的压电控制器，100 V内的最大误差小于30 m V，实验温度为20.5℃，湿度为18%，实验结果如表2所示。结果表明，压电陶瓷片充、放电0次时，测量结果偏差较大；充、放电1～15次时，5片的测量结果与平均值的最大差值分别是0.07μm、0.06μm、0.07μm、0.05μm和0.06μm。这表明充、放电次数对静态电压下压电陶瓷片位移的影响不大。随着加压次数的增多，陶瓷片的位移量也没有明显的变化。因此，为保证测量效率和准确性，在测量前采用与测量时相等的电压进行3次充、放电处理。