《表1 正交试验水平表Tab.1 Level of orthogonal experiment》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《刀具表面磁控溅射CrN涂层及其耐磨性能研究》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

采用正交实验设计与极差分析法，研究靶功率、沉积时间、氮气流量对涂层膜厚、膜基结合力、表面粗糙度、显微硬度的影响，并对工艺参数进行优化。为了确定在高速钢刀具表面制备CrN涂层的最佳工艺参数，根据有关文献资料和现有的实验条件，选取氮气流量（Nitrogen gas flow）、沉积时间（Deposition time）、靶功率（Target power）作为3个因素，每个因素选取3个水平，氮气流量分别为10、25、40 mL/min，沉积时间分别为75、100、125 min，靶功率分别为150、200、250 W。为降低工艺优化的复杂程度，试验不考虑因素间的交互作用、三因素三水平问题，故选用正交表L9（33）。因素设计水平表及正交表见表1和表2。