《表7 样品分析结果 (n=5) Tab.7 Analytical results of the samples (n=5)》

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《熔融制样-X射线荧光光谱法测定工业硅中总硅、二氧化硅和其他杂质组分》

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按试验方法对5个工业硅样品进行分析（已知值采用湿法分析得出），每个样品制备5个样片，计算测定值的相对标准偏差（RSD），结果见表7。MSi为除二氧化硅中硅以外的硅，由于二氧化硅和MSi的结果计算涉及总硅和其他元素的测定结果，因此精密度稍差。