《表2 光栅测微仪指标参数设计结果Tab.2 Design results of the parameters of a optical grating micrometer》

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《万向柔性铰链连接快速反射镜的设计与仿真》

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光栅测微仪是一种接触式线位移测量元件，是以精密光栅为测量基准的数字化测距装置。其工作原理是:单准直光源发出准直光，经光栅副调制后形成光学莫尔条纹，由光电探测元件接收后输出光电流，并经过数字电路处理，获取最终的位移测量信息[15]。在文中设计中，光栅测微仪作为位置反馈单元，在响应速度与测量精度指标上均能满足快速反射镜系统要求。文中设计的光栅测微仪参数如表2所示。