《表2 石英音叉前6阶模态仿真结果》

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《基于石英增强光声光谱的H_2S痕量气体检测研究》

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目前，在有限元仿真分析方面，多数文献采用COMSOL软件。本文将SolidWorks软件中的Simulation模块用于石英音叉的有限元仿真分析，首先在SolidWorks软件中建立音叉的三维模型，接着对其进行网格划分，这一步骤是决定后期仿真结果准确性的关键步骤之一。在软件中设定网格划分属性，雅可比点为4，单元大小为0.12mm，公差为0.006mm。然后对模型添加二氧化硅材料，设置其材料属性如下：弹性模量为70GPa，泊松比为0.17，密度为2300kg/m3。最后对石英音叉模型添加基座底面固定约束。本文在同等参数条件下用COMSOL软件进行了相同的有限元分析，仿真结果表明，这两种软件分析计算得到的前6阶模态振型基本一致，但是每一阶振型对应的共振频率差别较大，具体结果如表2所示。