《表1 实验中所用种离子的参数》
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《总剂量和重离子协同作用下浮栅单元错误的退火特性研究》
总剂量实验是在中国科学院新疆理化技术研究所的60Coγ射线源上进行的。室温下以100 rad·s-1（Si）的剂量率对样品进行辐照，累计总剂量为30 krad（Si）。重离子辐照实验是在兰州重离子加速器（Heavy Ion Research Facility in Lanzhou，HIRFL）上进行的。选用了三种离子（86Kr、129Xe和209Bi）来辐照器件。离子总注量约为106ions·cm-2。实验所用的离子参数如表1所示。三种离子分三次实验完成。由于实验条件的限制，每次实验总剂量辐照和重离子辐照之间的时间间隔并不一致，对于86Kr、129Xe和209Bi实验，时间间隔分别约为4 d、7 d和13 d。详细的实验流程如下:
| 图表编号 | XD0033585000 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2019.01.10 |
| 作者 | 殷亚楠、刘杰、姬庆刚、赵培雄、刘天奇、叶兵、罗捷、孙友梅、侯明东 |
| 绘制单位 | 中国科学院近代物理研究所、中国科学院大学、中国科学院近代物理研究所、中国科学院近代物理研究所、中国科学院大学、中国科学院近代物理研究所、中国科学院大学、中国科学院近代物理研究所、中国科学院大学、兰州大学、中国科学院近代物理研究所、中国科学院大学、中国科学院近代物理研究所、中国科学院大学、兰州大学、中国科学院近代物理研究所、中国科学院近代物理研究所 |
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