《表2 1000SCCM质量流量控制器校准结果》

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《质量流量控制器动态配气装置量值溯源方法分析》

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首先在动态配气仪预热30 min后，在实验室环境温度为20℃条件下，分别对A、B两气路质量流量控制器进行流量校准。校准结果如表1和表2所示。修正后的流量值与设定输出流量仍有一定偏差，但是在质量流量控制器技术指标允许范围内。