《表5 500 ppm标气插值及配制气分析数据》

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《质量流量控制器动态配气装置量值溯源方法分析》


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其样品数据分析结果如表3~表6所示。配置气分析值与标准值的数据拟合曲线由图10所示。由分析数据可得,动态配气装置设置输出浓度为300 ppm、500 ppm、800 ppm配制气体时,实际得到气体浓度值与设置输出浓度值约为2%的示值误差。据配置气分析值与标准值的数据拟合曲线可以看出,由校准后质量流量控制器动态配气装置配制输出的标准气体有很好的线性关系。