《表1 几种不同精炼方法比较》

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《高纯材料电子束精炼制备技术研究现状与发展趋势》

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多元合金材料的制备通常采用真空感应熔炼（Vacuum Induction Melting，VIM），较高的真空度利于杂质元素的去除，由于熔炼是在陶瓷坩埚内进行，不可避免地存在坩埚材料污染问题，影响铸锭的冶金质量。为了解决上述问题，通过电渣重熔（Electroslag Remelting，ESR）或ESR+真空自耗重熔（Vaccum Arc Remelting，VAR）等冶炼技术，以改善合金元素偏析程度、降低有害气体含量及夹杂物尺寸。但是，这些冶炼技术受到温度、真空度的限制，杂质和夹杂物去除程度有限，且大尺寸铸锭凝固速率缓慢，不能完全消除偏析问题。与上述精炼方法相比较，电子束精炼技术具有真空度高、无耐火材料污染、可实现连续化生产等优点，在多元合金材料高纯化制备方面显示出了巨大的发展潜力，如表1所示。