《表8 施加Z向温度差载荷的拟合结果Tab.8 Fitting results of Z temperature difference》

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光机系统初始MTF值为0.425,由表9可知:沿光机系统X、Y、Z向分别施加2.5℃温度差载荷后,MTF分别下降了0.082、0.032、0.018。因此可以得出结论:光机结构对X轴方向的温度差最敏感,对Z轴方向的温度差最迟滞。