《表1 残余应力和表面变形变化量》
注:σ为残余应力;D为表面偏差。
加工前中要对基板进行预热,预设温度设置为200℃,工件初始加工温度为25℃。如图10所示,分别选取3个基板切割方向+X方向、+Y方向、-Y方向。如图11所示,按工艺方案3的参数和零件位置进行有限元模拟,选取3个典型位置a、b、c。通过残余应力和表面偏差值变化量(见表1),确定最优基板切割方向。
图表编号 | XD00229094300 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2020.10.02 |
作者 | 姜旭、周六如、王嘉豪、胡诗尧 |
绘制单位 | 南昌大学机电工程学院、南昌大学机电工程学院、南昌大学机电工程学院、南昌大学机电工程学院 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |