《表2 能谱测试正交实验表》

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《改善铝合金能谱定量分析准确度的研究》

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使用蔡司EVO MA10型SEM配合牛津X-MAX型X射线EDS对样件所含锰、镁、铜3种合金元素含量进行分析。选择活时间、加速电压、放大倍率和工作距离这4个因素，设计正交试验方案。根据设备特性，设置加速电压范围为5～20k V，工作距离为8～11mm，活时间控制在30～90s，放大倍率范围为250～1000倍；测试过程电镜探针的电流设置为300p A，具体详见表2。