《表1 三种测量方法比较：基于CCD的激光三角法测量BLT的性能研究》

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《基于CCD的激光三角法测量BLT的性能研究》

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BLT现有三种检测方案，如表1所示。第一种是光学检测，通过显微镜聚焦的方法来进行测量。这种方案测量速度慢、精度差，并且受到测量平台的限制。第二种方案是接触式测量，该方案可能会对芯片造成伤害，使芯片失效。传统的接触式测量主要是通过计量超声波的反射时间，乘以超声波的传播速度得到距离。受介质的密度、压力、温度等因素的影响，不宜用作BLT的测量。想要得到高精度的数据，还需对该测量方法进行改进，以排除超声波速度变化带来的干扰。但想要进行较高精度的改进非常困难，且成本较高。第三种方案通过雷达波进行测量，该方法精度在毫米级别，无法满足高精度测量的需求[1]。