《表1 膜厚为400 nm时混合算法多次拟合结果》

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《改进遗传算法在CMP终点检测的应用》

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表2是膜厚从200 nm到1 000 nm分别采用GA和混合算法计算10次取平均值后的结果。从表中可以看出，由GA得到的d平均相对误差为1.070%，n平均相对误差为1.324%，且有膜厚误差超过10 nm；混合算法得到的d平均相对误差为0.210%，n平均相对误差为1.067%。混合算法在膜厚与折射率的拟合结果上优于GA。