《表2 不同方法瑕疵检测时间对比》

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《基于嵌入式技术的超精密光学元件瑕疵检测研究》


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为测试本文方法瑕疵检测效率,统计采用3种方法检测10种超精密光学元件的检测时间,并将本文方法检测结果与激光投射法和全息法对比,对比结果如表2所示。