《表1 线偏振光、圆偏振光、径向偏振光和角向偏振光的产生方法[36]》

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《飞秒激光空间光束整形加工技术研究进展》

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目前利用矢量光场的加工可应用于钻孔和切割。为了提高飞秒激光打孔精度，郭钊[36]研究了偏振态对柔性电路板（FPC）微孔加工的孔径大小、烧蚀程度和圆度的影响。结合空间光调制器、半波片和四分之一波片，分别生成线偏振光、圆偏振光、径向偏振光和角向偏振光，调制方法如表1所示。结果表明，与线偏振光和圆偏振光相比，径向偏振光和角向偏振光所加工的孔径大小略大，圆度更高。娄凯[37]利用空间光调制器将调制全息光栅空间分布以及初始相位分布，获得不同偏振态的多焦点阵列，并应用于微孔阵列的加工，该方法提高了微孔加工的效率和质量。